Deutsche Forscher erfinden die Halbleiter von Morgen

Die Forscher des Optikkonzerns Carl Zeiss entwickelten eine Technik, mit der die gewöhnliche CPU-Leistung um ein Vielfaches zu steigern sei. Für ihre gut zehn Jahre Entwicklungsarbeit wurden sie nun für den Deutschen Zukunftspreis nominiert.

Das Verfahren ähnelt einer Diaprojektion: Die Strukturen des Chips sind auf einer Maske vorgezeichnet, die mit einer Lichtquelle ausgeleuchtet und durch ein Objektiv auf eine mit Fotolack beschichtete Siliziumscheibe (Wafer) projiziert wird. Durch die Entwicklung des belichteten Fotolackes werden dreidimensionale, elektronische Strukturen im Wafer erzeugt.

Dank der extrem kurzwelligen ultravioletten Strahlung (EUV) kann die Dichte, in der elektronische Bauelemente auf dem Computerchip sitzen, im Vergleich zum heutigen Belichtungsverfahren um mehr als das Zehnfache erhöht werden. Dabei fallen die Produktionskosten erfreulich niedrig aus. Der Konzern verspricht sich binnen eines Jahrzehnt ein jährliches Umsatzpotential von rund einer Milliarde Euro. (rm)

Bild: Carl Zeiss